Daha büyük tabakalarla çalışabilme imkânı sunmak amacıyla tasarlanmış, kompakt ORTUS 700’ün genişletilmiş versiyonu.
Özellikler
1. Tabaka Taşıyıcı (Substrate Holder)
| Tür | Boyut | 1” için yükleme kapasitesi (referans) | Tüm alan için kalınlık homojenliği | Maks. tek tabaka boyutu |
|---|---|---|---|---|
| Kubbe tipi | Ø800 mm | 356 | ±2% | 300 mm |
| Planet tipi | 4 x Ø327 mm | 284 | ±1% | 327 mm |
2. Teknolojik Cihazlar
Elektron Işınıyla Buharlaştırma (EBE)
3 farklı boyut: EV M-6, EV M-8, EV M-10
Özelleştirilebilir potalar: 1 … 12 yuvalı
Maksimum adedi: 2 adetTemizleme ve Yardımcı Kaynaklar
End-Hall iyon kaynağı (İyon akım yoğunluğu 1 mA/cm²’ye kadar)
Anot katmanlı hızlandırıcı (İyon akım yoğunluğu 4.2 mA/cm²’ye kadar)
Copra: RF Plazma Destek Kaynağı (İyon akım yoğunluğu 2.5 mA/cm²’ye kadar)
Maksimum adedi: 1 adet
Dirençli buharlaştırma kaynağı
Maksimum adedi: 1 adet (2 EBE ile birlikte kullanılabilir)
3. Kaplama Süreci Kontrolü
Oran ve kalınlık kontrol sistemi (kuvars kristali kontrollü)
Optik süreç izleme sistemi OCP
OCP Singlewave: monokromatik izleme için
4. Aksesuarlar
Tabaka ısıtma sistemi
Kızılötesi (IR) lambalar
Tüplü ısıtıcı
