En kompakt PIAD kaplayıcı, teknolojik cihazlar, tabaka taşıyıcılar, süreç kontrolü ve aksesuarlar konularında ORTUS platformunun tüm esnekliğini sunar. 620 mm dome çapı ve diğer tabaka taşıyıcıları kurabilme imkânı ile Ar-Ge ve küçük ölçekli üretim için optimize edilmiştir.
Özellikler
1. Tabaka Taşıyıcı (Substrate Holder)
| Tür | Boyut | 1″ için yükleme kapasitesi (referans) | Tüm alan için kalınlık homojenliği | Maks. tek tabaka boyutu |
|---|---|---|---|---|
| Kubbe tipi | Ø620 mm | 228 | ±1.5% | 220 mm |
| Planet tipi | 3 x Ø250 mm | 132 | ±1% | 250 mm |
2. Teknolojik Cihazlar
Elektron Işınıyla Buharlaştırma (EBE)
3 farklı boyut: EV M-6, EV M-8, EV M-10
Özelleştirilebilir potalar: 1 … 12 yuvalı
Maksimum adedi: 2 adetTemizleme ve Yardımcı Kaynaklar
End-Hall iyon kaynağı (İyon akım yoğunluğu 1 mA/cm²’ye kadar)
Anot katmanlı hızlandırıcı (İyon akım yoğunluğu 4.2 mA/cm²’ye kadar)
Copra: RF Plazma Destek Kaynağı (İyon akım yoğunluğu 2.5 mA/cm²’ye kadar)
Maksimum adedi: 1 adet
Dirençli buharlaştırma kaynağı
Maksimum adedi: 1 adet (2 EBE ile birlikte kullanılabilir)
3. Kaplama Süreci Kontrolü
Oran ve kalınlık kontrol sistemi (kuvars kristali kontrollü)
Optik süreç izleme sistemi OCP
OCP Singlewave: monokromatik izleme için
4. Aksesuarlar
Tabaka ısıtma sistemi
Kızılötesi (IR) lambalar
Tüplü ısıtıcı
