En yüksek yükleme kapasitesine sahip en büyük ORTUS modeli.
Ayırt edici özellikleri:
Büyük 3D şekilli tabakalar üzerine kaplama için uygundur
Plastik tabakalar üzerinde kaplama için düşük sıcaklıkta buharlaştırmaya uygundur
Özellikler
1. Tabaka Taşıyıcı (Substrate Holder)
| Tür | Boyut | 1” için yükleme kapasitesi (referans) | Tüm alan için kalınlık homojenliği | Maks. tek tabaka boyutu |
|---|---|---|---|---|
| Kubbe tipi | Ø1390 mm | 1075 | ±2% | 580 mm |
| Planet tipi | 4 x Ø590 mm | 850 | ±1% | 590 mm |
2. Teknolojik Cihazlar
Elektron Işınıyla Buharlaştırma (EBE)
3 farklı boyut: EV M-6, EV M-8, EV M-10
Özelleştirilebilir potalar: 1 … 12 yuvalı
Maksimum adedi: 2 adetTemizleme ve Yardımcı Kaynaklar
Anot katmanlı hızlandırıcı (İyon akım yoğunluğu 4.2 mA/cm²’ye kadar)
Copra: RF Plazma Destek Kaynağı (İyon akım yoğunluğu 2.5 mA/cm²’ye kadar)
Maksimum adedi: 1 adet
Dirençli Buharlaştırma Kaynağı
Maksimum adedi: 2 adet (2 EBE ile birlikte kullanılabilir)
3. Kaplama Süreci Kontrolü
Oran ve kalınlık kontrol sistemi (kuvars kristalli)
Optik süreç izleme sistemi OCP
OCP Singlewave: monokromatik izleme için
4. Aksesuarlar
Tabaka Isıtma Sistemi
Kızılötesi (IR) lambalar
Tüplü ısıtıcı
