OEM SİSTEM BİLEŞENLERİ
OCP BROADBAND
Kaplama sürecinin geniş bant spektral ölçümler ve analiz yoluyla izlenmesi.
OCP Broadband, farklı ölçüm modları için gelişmiş kontrol imkânları sunar.
Şu modları destekler: geçirgenlik (transmittance), yansıtma (reflectance) ve doğrudan izleme (direct monitor), hem sabit hem de döndürülebilir tabaka (test camı) üzerinde.
Kaplama sürecinin temel izleme modu, döndürülebilir tabaka taşıyıcısına yerleştirilen tabaka üzerinden doğrudan transmisyon ölçümü yapılmasıdır.
Spektrometre, tabaka taşıyıcısının her dönüşünden sonra, tüm çalışma aralığında gerçek kaplama spektrumunu ölçer.
Yazılım algoritması, ölçülen spektrumu hedeflenen optik tasarıma göre analiz eder ve her katman için kaplama sürecinin kesilme (breakpoint) noktalarını belirler.
PLC sistemi ve vakum ekipmanlarının kaplama kontrol üniteleriyle yakın entegrasyon sayesinde, kaplama süreci baştan sona kadar tam otomatik optik kaplama olarak gerçekleştirilebilir.
Sistem yazılımı, çeşitli kaplama tasarım programlarından kaplama tasarımlarının yüklenmesine olanak tanır.
Yazılım arayüzü kullanımı kolaydır ve kaplama süreçlerinin tam otomasyonunu sağlar.
Tam otomasyon, tabaka spektral özelliklerine ve önceden yüklenmiş kırılma indisi dağılımına (refraktif indeks dispersiyonu) dayanarak kaplama kalınlığının süreç sırasında yeniden hesaplanması sayesinde mümkün olmuştur.
Bu teknik, süreç sırasında oluşabilecek hataların en aza indirilmesini sağlar.
Sıçratma yöntemlerine ve vakum kaplama makinelerinin tasarım prensibine bağlı olarak, hataların tamamen ortadan kaldırılması mümkün değildir.
Hata birikimi, optik tasarımın doğru şekilde gerçekleştirilmesini imkânsız hâle getirebilir.
Yeniden optimizasyon (reoptimization) prosedürü, oluşan hataların katman kalınlıkları üzerindeki olumsuz etkilerini, artık katman kalınlıklarının değiştirilmesi yoluyla ortadan kaldırır ve kaplama sonrasında hedeflenen hesaplı spektrumun elde edilmesini garanti altına alır.
Yüksek spektral çözünürlük, gerçek transmisyon değerlerinin ve spektrumun keskin bölgelerindeki düzgün bükülmelerin doğru bir şekilde elde edilmesini sağlar.
Bu da yazılımın kaplama kalınlığı hesaplama hassasiyetini önemli ölçüde artırır.
Spektral Alt Aralık (nm): 380–1080
1080–1650Spektral Çözünürlük (nm): 0.5
5.0Dalga Boyu Doğruluğu (nm): ± 0.2
± 1.0Dalga Boyu Tekrarlanabilirliği (nm)± 0.1
± 0.5İzleme Türleri: Kesikli (Doğrudan): Geçirgenlik (Transmission)
Sürekli (Dolaylı): Geçirgenlik (Transmission), Yansıtma (Reflection), Arka Yüzey Yansıması (Backside Reflection)Dedektör: CMOS (Hamamatsu)
Işık KaynağI: DC stabilizasyonlu Kuvars Tungsten Halojen lamba
İnce Film Tasarım Yazılımları: OptiLayer, OTF STUDIO, TFCalc, MS Excel, Essential Macleod
Veri Aktarımı: OPC UA, Modbus TCP/IP, Talep üzerine diğer protokoller
Test Camı Değiştirici: 8 konumlu test camı değiştirici + 4 konumlu soğutmalı kuvars kristal değiştirici (entegre)
OCP SINGLEWAVE
Spektral Alt Aralık (nm)
220–380
380–1100
1100–1650
1650–2500Spektral Çözünürlük (nm)
0.8
0.8
1.6
3.2Dalga Boyu Doğruluğu (nm)
±0.2
±0.2
±0.4
±0.8Dalga Boyu Tekrarlanabilirliği (nm)
±0.1
±0.1
±0.2
±0.4İzleme Türleri: Kesikli (Doğrudan): Geçirgenlik (Transmission), Sürekli (Test camı üzerinden Dolaylı): Geçirgenlik (Transmission), Yansıtma (Reflection), Arka Yüzey Yansıması (Backside Reflection)
Temel Sinyal Kararlılığı (%):
±0.1%/saat
±0.1%/saat
±0.25%/saat
±0.75%/saatKaranlık Gürültü (%):
±0.01 @550nm
±0.01 @550nm
±0.1 @1550nm
±1 @2100nmYabancı Işık (Stray Light) (%):
0.3 @250nm
0.05 @550nm
0.1 @1550nm
0.1 @2100nmDahili PC: Var
Işık Kaynağı: Döteryum lambası, DC-stabilizasyonlu Kuvars Tungsten Halojen lamba
Dedektör
Si
Si
IGA
IGAİnce Film Tasarım Yazılımları: OptiLayer, OTF STUDIO, TFCalc, MS Excel, Essential Macleod
Veri AktarımıOPC UA, Modbus TCP/IP, Talep üzerine diğer protokoller
Test Camı Değiştirici: 8 konumlu test camı değiştirici + 4 konumlu soğutmalı kuvars kristal değiştirici (entegre)
Yüksek hızlı veri dijitalleştirme sistemi, minimum ölçüm sürelerinde bile kararlı bir sinyal elde edilmesini sağlar.
Bu özellik, test camının yüksek hızlı doğrusal hareket ettiği ekipmanlarda bile kaplama sürecinin izlenmesine olanak tanır.Temel sinyal kalibrasyonu ile çalışma, doğrudan kaplama süreciyle bağlantılı olmayan sinyal değişimlerini ortadan kaldırır.
Geliştirilen matematiksel algoritma, ölçülen verilerin çok düşük hata oranlarıyla yaklaşık değerler oluşturulmasını sağlar.
Bu sayede katman durdurma noktası (stop layer point) yüzde yüz doğrulukla belirlenebilir ve vakum ekipmanı kontrol sistemine katman durdurma sinyali gönderilebilir.
Bu yüksek hassasiyet, kaplama sürecinin baştan sona otomatik olarak yürütülmesine olanak tanır.OCP Singlewave, sürecin tüm gereksinimlerine uygun şekilde konfigüre edilebilmesi için geniş bir seçenek yelpazesi sunar.
OCP, en yaygın optik tasarım yazılımlarını destekler:
OptiLayer
OTF STUDIO
TFCalc
Essential Macleod
Ayrıca MS Excel üzerinden de veri aktarımı yapılabilir.
Oluşturulan optik tasarım, OCP sistemine yüklenir ve burada kaplama yapısının katman katman detayları görüntülenebilir.
Kullanıcı dostu OCP arayüzü, sürecin hem otomatik hem de manuel modda yönetilmesini sağlayacak tüm görsel bilgileri sunar.