Seçilen Dalga Boylarında Kaplama Süreci İzleme
Özellikler
| Özellik | Değer |
|---|---|
| Spektral Alt Aralık (nm) | 220–380 380–1100 1100–1650 1650–2500 |
| Spektral Çözünürlük (nm) | 0.8 0.8 1.6 3.2 |
| Dalga Boyu Doğruluğu (nm) | ±0.2 ±0.2 ±0.4 ±0.8 |
| Dalga Boyu Tekrarlanabilirliği (nm) | ±0.1 ±0.1 ±0.2 ±0.4 |
| İzleme Türleri | Kesikli (Doğrudan): Geçirgenlik (Transmission) Sürekli (Test camı üzerinden Dolaylı): Geçirgenlik (Transmission), Yansıtma (Reflection), Arka Yüzey Yansıması (Backside Reflection) |
| Temel Sinyal Kararlılığı (%) | ±0.1%/saat ±0.1%/saat ±0.25%/saat ±0.75%/saat |
| Karanlık Gürültü (%) | ±0.01 @550nm ±0.01 @550nm ±0.1 @1550nm ±1 @2100nm |
| Yabancı Işık (Stray Light) (%) | 0.3 @250nm 0.05 @550nm 0.1 @1550nm 0.1 @2100nm |
| Dahili PC | Var |
| Işık Kaynağı | Döteryum lambası DC-stabilizasyonlu Kuvars Tungsten Halojen lamba |
| Dedektör | Si Si IGA IGA |
| İnce Film Tasarım Yazılımları | OptiLayer, OTF STUDIO, TFCalc, MS Excel, Essential Macleod |
| Veri Aktarımı | OPC UA, Modbus TCP/IP Talep üzerine diğer protokoller |
| Test Camı Değiştirici | 8 konumlu test camı değiştirici + 4 konumlu soğutmalı kuvars kristal değiştirici (entegre) |
KATALOG
Yüksek hızlı veri dijitalleştirme sistemi, minimum ölçüm sürelerinde bile kararlı bir sinyal elde edilmesini sağlar.
Bu özellik, test camının yüksek hızlı doğrusal hareket ettiği ekipmanlarda bile kaplama sürecinin izlenmesine olanak tanır.
Temel sinyal kalibrasyonu ile çalışma, doğrudan kaplama süreciyle bağlantılı olmayan sinyal değişimlerini ortadan kaldırır.
Geliştirilen matematiksel algoritma, ölçülen verilerin çok düşük hata oranlarıyla yaklaşık değerler oluşturulmasını sağlar.
Bu sayede katman durdurma noktası (stop layer point) yüzde yüz doğrulukla belirlenebilir ve vakum ekipmanı kontrol sistemine katman durdurma sinyali gönderilebilir.
Bu yüksek hassasiyet, kaplama sürecinin baştan sona otomatik olarak yürütülmesine olanak tanır.
OCP Singlewave, sürecin tüm gereksinimlerine uygun şekilde konfigüre edilebilmesi için geniş bir seçenek yelpazesi sunar.
OCP, en yaygın optik tasarım yazılımlarını destekler:
OptiLayer
OTF STUDIO
TFCalc
Essential Macleod
Ayrıca MS Excel üzerinden de veri aktarımı yapılabilir.
Oluşturulan optik tasarım, OCP sistemine yüklenir ve burada kaplama yapısının katman katman detayları görüntülenebilir.
Kullanıcı dostu OCP arayüzü, sürecin hem otomatik hem de manuel modda yönetilmesini sağlayacak tüm görsel bilgileri sunar.