Kaplama sürecinin geniş bant spektral ölçümler ve analiz yoluyla izlenmesi

Özellikler
OCP Broadband, farklı ölçüm modları için gelişmiş kontrol imkânları sunar.
Şu modları destekler: geçirgenlik (transmittance), yansıtma (reflectance) ve doğrudan izleme (direct monitor), hem sabit hem de döndürülebilir tabaka (test camı) üzerinde.
Kaplama sürecinin temel izleme modu, döndürülebilir tabaka taşıyıcısına yerleştirilen tabaka üzerinden doğrudan transmisyon ölçümü yapılmasıdır.
Spektrometre, tabaka taşıyıcısının her dönüşünden sonra, tüm çalışma aralığında gerçek kaplama spektrumunu ölçer.
Yazılım algoritması, ölçülen spektrumu hedeflenen optik tasarıma göre analiz eder ve her katman için kaplama sürecinin kesilme (breakpoint) noktalarını belirler.
PLC sistemi ve vakum ekipmanlarının kaplama kontrol üniteleriyle yakın entegrasyon sayesinde, kaplama süreci baştan sona kadar tam otomatik optik kaplama olarak gerçekleştirilebilir.
Sistem yazılımı, çeşitli kaplama tasarım programlarından kaplama tasarımlarının yüklenmesine olanak tanır.
Yazılım arayüzü kullanımı kolaydır ve kaplama süreçlerinin tam otomasyonunu sağlar.
Tam otomasyon, tabaka spektral özelliklerine ve önceden yüklenmiş kırılma indisi dağılımına (refraktif indeks dispersiyonu) dayanarak kaplama kalınlığının süreç sırasında yeniden hesaplanması sayesinde mümkün olmuştur.
Bu teknik, süreç sırasında oluşabilecek hataların en aza indirilmesini sağlar.
Sıçratma yöntemlerine ve vakum kaplama makinelerinin tasarım prensibine bağlı olarak, hataların tamamen ortadan kaldırılması mümkün değildir.
Hata birikimi, optik tasarımın doğru şekilde gerçekleştirilmesini imkânsız hâle getirebilir.
Yeniden optimizasyon (reoptimization) prosedürü, oluşan hataların katman kalınlıkları üzerindeki olumsuz etkilerini, artık katman kalınlıklarının değiştirilmesi yoluyla ortadan kaldırır ve kaplama sonrasında hedeflenen hesaplı spektrumun elde edilmesini garanti altına alır.
Yüksek spektral çözünürlük, gerçek transmisyon değerlerinin ve spektrumun keskin bölgelerindeki düzgün bükülmelerin doğru bir şekilde elde edilmesini sağlar.
Bu da yazılımın kaplama kalınlığı hesaplama hassasiyetini önemli ölçüde artırır.




KATALOG
Özellik | Değer |
---|---|
Spektral Alt Aralık (nm) | 380–1080 1080–1650 |
Spektral Çözünürlük (nm) | 0.5 5.0 |
Dalga Boyu Doğruluğu (nm) | ± 0.2 ± 1.0 |
Dalga Boyu Tekrarlanabilirliği (nm) | ± 0.1 ± 0.5 |
İzleme Türleri | Kesikli (Doğrudan): Geçirgenlik (Transmission) Sürekli (Dolaylı): Geçirgenlik (Transmission), Yansıtma (Reflection), Arka Yüzey Yansıması (Backside Reflection) |
Dedektör | CMOS (Hamamatsu) |
Işık Kaynağı | DC stabilizasyonlu Kuvars Tungsten Halojen lamba |
İnce Film Tasarım Yazılımları | OptiLayer, OTF STUDIO, TFCalc, MS Excel, Essential Macleod |
Veri Aktarımı | OPC UA Modbus TCP/IP Talep üzerine diğer protokoller |
Test Camı Değiştirici | 8 konumlu test camı değiştirici + 4 konumlu soğutmalı kuvars kristal değiştirici (entegre) |