Plazma Destekli Reaktif Magnetron Sıçratma (PARMS) sistemi
Özellikler
Meridian Vakum Sistemi, çok çeşitli uygulamalar için yüksek hassasiyetli optik kaplamaların yüksek hızda biriktirilmesi amacıyla geliştirilmiş etkili bir sistemdir.
Meridian sistemi, çeşitli malzemelerden yüksek doğruluk ve mükemmel kaliteye sahip ince filmler elde edilmesine yardımcı olur.
Optik kontrol sistemi sayesinde süreçler tamamen otomatik hale getirilebilir ve üretim verimi önemli ölçüde artırılabilir.
Öne Çıkan Avantajlar:
Parçacık içermeyen kaplama süreçlerini mümkün kılan uzun mesafeli sıçratma konfigürasyonu
Sputter-Up konfigürasyonu (yukarı doğru sıçratma)
Yüksek verimli çift magnetron AC sıçratma sistemleri
Ön temizleme ve destek için uzun ömürlü RF plazma kaynakları
Tabaka üzerinde doğrudan izleme sağlayan I-Photonics OCP Optik İzleme Sistemi
Çift dönüşlü planet tipi tabaka taşıyıcı, 200 mm, 250 mm ve 300 mm boyutlarında farklı tabakaların montajına olanak tanır
Uygulama Alanları:
Ultra dar bant geçiren (bandpass) filtreler
Çok bölgeli (multizone) filtreler
Keskin geçişli (steep-edge) filtreler
Tekli ve çoklu notch filtreler
Lazer aynaları
İnce film polarizatörler
Işın ayırıcılar (beam splitters)
| Özellik | Değer |
|---|---|
| Sıçratma Kaynağı | HY düzlemsel dairesel magnetronlar |
| Destek Kaynağı | RF plazma kaynağı Copra DN250 CCR |
| Kapasite | Çift dönüşlü planet tipi tabaka taşıyıcı (10 × 200 mm tabaka kapasitesi) |
| Kaplama Homojenliği | < ±0,2% |
| Sıçratma Malzemeleri | Ta₂O₅, SiO₂, HfO₂, Al₂O₃, Nb₂O₅ |
| Kaplama Hızı | Malzeme türüne bağlı olarak saniyede 6 Å’ya kadar |
| İzleme Sistemi | I-Photonics OCP Otomatik Optik İzleme Sistemi |
| İşlem Sıcaklığı | < 250 °C |
| Vakum Sistemi | Kuru mekanik pompa ve türbomoleküler pompalar |
| Nihai Vakum (Ultimate Pressure) | 8 × 10⁻⁴ Pa |
| İşlem Başlangıç Basıncına Ulaşma Süresi | 45 dakika |
| Kurulum Alanı (U × G × Y) | 3790 × 3560 × 2450 mm |
| Ekipman Ağırlığı | 3400 kg |