Sıçratma ve destek işlemleri için RF IBS sistemi, otomatik optik izleme sistemi, tek diskli, planet tipi ve yüksek hızlı sistemler gibi çeşitli tabaka taşıyıcı seçenekleri ile yükleme-kilit (load-lock) sistemi sunulmaktadır.
Özellikler
I-Photonics’in IBS kaplama sistemi LIDIZ 700, bant geçiren filtreler, çok spektrumlu filtreler, ışın ayırıcılar ve ultra düşük kayıplı lazer aynaları gibi ileri teknoloji optik girişim kaplamalarını üretmek üzere tasarlanmıştır.
Tabaka taşıyıcıları için sunulan yapılandırılabilir seçenekleri, yükleme-kilit (load-lock) sistemi ve benzersiz tam otomatik yüksek hassasiyetli optik izleme sistemi sayesinde LIDIZ, farklı ihtiyaçlara göre yapılandırılabilir ve böylece IBS teknolojisinin sunduğu tüm avantajları — yüksek film saflığı, en düşük optik kayıplarda en stabil biriktirme hızı gibi — eksiksiz bir şekilde sağlar.
| Özellik | Değer |
|---|---|
| Kurulum Alanı (U × G × Y) | 3540 × 1840 × 2000 mm |
| Ekipman Ağırlığı | 4500 kg |
| Sıçratma Kaynağı | RF Izgara IBS + RF nötralizatör |
| Destek Kaynağı | RF Izgara IBS + RF nötralizatör |
| Tabaka Taşıyıcı ve Kaplama Alanı | Tek disk Ø320 mm (800 cm²) Planet tipi 4 × Ø210 mm (1380 cm²) Planet tipi 3 × Ø320 mm (2400 cm²) |
| Yükleme-Kilit (Load-Lock) Sistemi | Tek diskli tabaka taşıyıcı için |
| Kaplama Homojenliği | Planet tipi 4 × Ø210 mm: ≤ ±0,25% Tek disk Ø320 mm: ≤ ±0,5% Planet tipi 3 × Ø320 mm: ≤ ±0,5% |
| Süreç İzleme Sistemi | OCP Broadband OCP Singlewave OCP Duo (Broadband + Singlewave 2’si 1 arada) |
| Tabaka Malzemeleri | Cam seramikler, kromatik ve akromatik optik camlar, kuvars, potasyum florür, safir vb. |
| Maksimum Hedef (Target) Sayısı | 4 adet |
| Sıçratma Hedefleri (Malzemeler) | Ti, Ta, Nb, Zr, Hf, Al, Si, SiO₂ vb. |
| Kaplama Hızı | Malzeme türüne bağlı olarak saniyede 5 Å’ya kadar |
| İşlem Sırasındaki Tabaka Sıcaklığı (Isıtıcı kullanılmadan) | < 100 °C |
| Tabaka Isıtma Sistemi Sıcaklığı | < 250 °C |
| Tabaka Isıtma Homojenliği | ± 2 °C |
| Nihai Vakum (Ultimate Pressure) | 2 × 10⁻⁵ Pa |
| Nihai Vakuma Ulaşma Süresi | 8 saat |
| İşlem Başlangıç Basıncı | 8 × 10⁻⁴ Pa |
| İşlem Başlangıç Basıncına Ulaşma Süresi | 30 dakika (yükleme-kilit olmadan) 15 dakika (yükleme-kilit ile) |
| Vakum Sistemi | Kuru mekanik pompa ve kriyojenik pompa (Opsiyonel: Turbo moleküler pompa) |
