Sıçratma ve destek işlemleri için RF IBS sistemi, otomatik optik izleme sistemi ve artırılmış üretim verimliliği sunulmaktadır.
Özellikler
I-Photonics’in IBS kaplama sistemi LIDIZ 1100, artırılmış üretim verimliliği ile en yüksek kalitede optik girişim kaplamaları üretmek için tasarlanmıştır.
IBS teknolojisinin tüm avantajlarını sunan LIDIZ 1100, şu alanlarda kullanım için idealdir:
Düşük optik kayıplı lazer optikleri:
Yüksek güçlü lazerler
Lazer jiroskopları
Lazer uygulamaları için çeşitli AR (yansıma önleyici)/HR (yüksek yansıtıcı) kaplamalar ve filtreler
Nesnelerin İnterneti (IoT) uygulamaları
LIDAR (Işıkla Tanımlama ve Menzil Ölçümü) sistemleri
Tıbbi ekipmanlar ve ölçüm cihazları:
Işın ayırıcılar
Bant geçiren (bandpass) filtreler
Kenar filtreleri (edge filters)
Notch filtreler
| Özellik | Değer |
|---|---|
| Kurulum Alanı (U × G × Y) | 3490 × 2730 × 2460 mm |
| Ekipman Ağırlığı | 5500 kg |
| Sıçratma Kaynağı | RF Izgara IBS + RF nötralizatör |
| Destek Kaynağı | RF Izgara IBS + RF nötralizatör |
| Tabaka Taşıyıcı ve Kaplama Alanı | Tek disk Ø440 mm (1520 cm² alan) Planet tipi 7 × Ø210 mm (2420 cm² alan) İsteğe bağlı diğer planet taşıyıcılar |
| Kaplama Homojenliği | Planet tipi 7 × Ø210 mm: ≤ ±0,25% Tek disk Ø440 mm: ≤ ±0,5% |
| Süreç İzleme Sistemi | OCP Broadband OCP Singlewave OCP Duo (Broadband ve Singlewave 2’si 1 arada) |
| Tabaka Malzemeleri | Cam seramikler, kromatik ve akromatik optik camlar, kuvars, potasyum florür, safir vb. |
| Maksimum Hedef (Target) Sayısı | 4 adet |
| Sıçratma Hedefleri (Malzemeler) | Ti, Ta, Nb, Zr, Hf, Al, Si, SiO₂ vb. |
| Kaplama Hızı | Malzeme türüne bağlı olarak saniyede 4 Å’ya kadar |
| İşlem Sırasındaki Tabaka Sıcaklığı (Isıtıcı kullanılmadan) | < 100 °C |
| Tabaka Isıtma Sistemi Sıcaklığı | < 250 °C |
| Tabaka Isıtma Homojenliği | ± 2 °C |
| Nihai Vakum (Ultimate Pressure) | 5 × 10⁻⁵ Pa |
| Nihai Vakuma Ulaşma Süresi | 12 saat |
| İşlem Başlangıç Basıncı | 8 × 10⁻⁴ Pa |
| İşlem Başlangıç Basıncına Ulaşma Süresi | 40 dakika |
| Vakum Sistemi | Kuru mekanik pompa ve kriyojenik pompa (Opsiyonel: Turbo moleküler pompa) |
