AURORA-V

Büyük Ölçekli Seri Üretim İçin Dikey Hat İçi Vakum Sistemleri

AURORA-V, tamamen dikey tabaka yüklemesi prensibine dayanan, magnetron sıçratma teknolojisi tabanlı bir hat içi vakum kaplama sistemidir.

Kaplama Makinesi Tanımı

Kaplama sistemi iki ana bölümden oluşur:

• Vakum odaları

• Yükleme/boşaltma masaları (otomasyon sistemine uygun çalışacak şekilde yapılandırılmış)

Bu masalar temiz oda (cleanroom) ortamına kurulur.

Standart AURORA tasarımı tek uçludur, yani yükleme ve boşaltma işlemleri aynı taraftan yapılır; taşıyıcılar işlem koridoruna girer ve dönüş (turnback) veya kaydırmalı dönüş (shiftback) odasından geçer.
İsteğe bağlı olarak, yükleme ve boşaltmanın karşılıklı uçlardan yapıldığı çift uçlu tasarım da mümkündür.

Tabakalar taşıyıcılara sabitlenir ve bu taşıyıcılar vakum yükleme-kilit odasından işlem odasına (sıçratma alanına) sabit hızla ve aralarında boşluk (gap) olmadan ilerlerler.
İşlem odaları, tabaka temizliği, ince film kaplama ve gerekirse son işlem (post-treatment) için tüm ekipmanlarla donatılmıştır.
Makine kontrolü, tam otomatik modda HMI + PLC sistemi üzerinden sağlanır.
Kontrol sistemi, İmalat Yürütme Sistemleri (MES) ile entegre edilebilir.

Mevcut Üretim Jenerasyonları

Kaplama alanı büyüklüğüne göre AURORA-V şu seçeneklerle sunulmaktadır:

• GEN 5: 1100 × 1300 mm kaplama alanı

• GEN 6: 1500 × 1850 mm kaplama alanı

• GEN 8: 2200 × 2500 mm kaplama alanı

Standart dışı özel varyasyonlar da ayrıca değerlendirilebilir.

Üretkenlik

Kaplama alanı boyutuyla birlikte üretkenliği belirleyen ana parametre çevrim süresidir (takt süresi).
Bu süre, kaplanmış tabakaların taşıyıcıdan boşaltılması ile yeni tabakaların yüklenmesi arasındaki zaman dilimidir.
AURORA-V platformu için en kısa çevrim süresi 45 saniyeden başlamaktadır.