Büyük Ölçekli Seri Üretim İçin Dikey Hat İçi Vakum Sistemleri
AURORA hat içi platformu, yüksek verimli üretim için konveyör tipine modifiye edilmiş magnetron sıçratma teknolojisine dayanmaktadır.
AURORA sisteminin en belirgin özelliği, tabakaların dikey konumda yüklenmesi tasarımıdır. Tabakalar, tüm kaplama ünitesinin içinden geçerek, vakum yükleme-kilit bölümleri ve işlem koridorlarından sırasıyla ilerleyen bir taşıyıcıya yüklenir. Süreç sonunda taşıyıcılar ister geri dönebilir, ister başka bir odaya geçebilir ya da kaplanmış tabakaların boşaltılması için atmosfere çıkabilir.
INLINE AR+AF süreçlerinde yıllara dayanan Ar-Ge çalışmaları sonucunda, pazarda üstün aşınma direncine sahip kaplama parametreleri sunan bir inline kaplama sistemi geliştirilmiştir.
AURORA – V: Dikey tabaka yükleme tasarımı
AURORA – I: 7° açıyla eğimli tabaka yükleme tasarımı (dikey eksene göre)
