AURORA-I

Büyük Ölçekli Seri Üretim İçin Eğimli Hat İçi Vakum Sistemleri

AURORA-I, dikey kaplama tasarımına sahip, ancak tabakaların taşıyıcı üzerine dikey eksene 7–10 derece eğimli şekilde yüklendiği bir hat içi vakum kaplama sistemidir.
Bu çözüm, dikey tasarımın (düşük parçacık oluşumu) avantajlarını, yatay yüklemenin sağladığı minimum atıl (kaplama yapılmayan) alan avantajı ile birleştirir.

Kaplama Makinesi Tanımı

Kaplama sistemi iki ana bölümden oluşur:

• Vakum odaları

• Yükleme/boşaltma masaları (otomasyon sistemine uygun yapılandırılmış)

Bu masalar temiz oda (cleanroom) ortamına kurulur.
Standart AURORA tasarımı tek uçludur, yani yükleme ve boşaltma aynı taraftan yapılır; taşıyıcılar işlem koridoruna girer ve dönüş (turnback) veya kaydırmalı dönüş (shiftback) odasından geçer.
İsteğe bağlı olarak, yükleme ve boşaltmanın karşılıklı uçlardan yapıldığı çift uçlu tasarım da mümkündür.

Tabakalar taşıyıcılara sabitlenir ve bu taşıyıcılar vakum yükleme-kilit odasından işlem odasına (sıçratma alanı) sabit hızla ve taşıyıcılar arasında boşluk (gap) olmadan ilerlerler.
İşlem odaları, tabaka temizliği, ince film kaplama ve gerekirse son işlem (post-treatment) için gerekli tüm ekipmanlarla donatılmıştır.
Makine kontrolü tam otomatik modda HMI + PLC sistemi üzerinden gerçekleştirilir.
Kontrol sistemi, İmalat Yürütme Sistemi (MES) ile entegre edilebilir.

Mevcut Üretim Jenerasyonları

Kaplama alanı büyüklüğüne göre AURORA-I şu seçeneklerle sunulmaktadır:

• GEN 4.5: 650 × 1200 mm kaplama alanı

• GEN 5: 1100 × 1300 mm kaplama alanı

Standart dışı özel varyasyonlar da ayrıca değerlendirilebilir.

Üretkenlik

Kaplama alanı büyüklüğüne ek olarak üretkenliği belirleyen ana parametre çevrim süresidir (takt süresi).
Bu süre, kaplanmış tabakaların taşıyıcıdan boşaltılması ile yeni tabakaların yüklenmesi arasındaki zaman dilimidir.
AURORA-I platformu için en kısa çevrim süresi 45 saniyeden başlamaktadır.