Yatay Laboratuvar Tipi Kaplama Makinesi
Özellikler
Laboratuvar ve Küçük Ölçekli Üretim İçin Yatay Hat İçi Vakum Sistemleri
ASTRA-S, yatay tabaka yüklemesi prensibine dayanan magnetron sıçratma teknolojili bir vakum kaplama sistemidir.
Temel konfigürasyonunda, her yüklemenin bir önceki taşıyıcının boşaltılmasından sonra yapıldığı batch modu (toplu işlem) ile çalışır. Ancak, önceden tanımlı çevrim süresi ile sürekli üretim yapılacak şekilde hat içi (inline) moda da dönüştürülebilir.
ASTRA-S Tasarım Fikri
Kitle üretim hat içi kaplama makinelerinin birebir aynı kaplama koşullarını küçük ölçekte tekrar eden bir sistem geliştirmek. Böylece, proses geliştirme ve üretim konfigürasyonları, kitle üretim koşullarına benzer ortamlarda hazırlanabilir ve yeni süreçlerin seri üretimi minimum zaman kaybıyla başlatılabilir.
Laboratuvar ortamında başlayıp müşterinin iş hacmiyle birlikte büyüyebilecek bir çözüm sunmak. Temel fikir, ASTRA-S’nin modifikasyonla yüksek verimli bir üretim kaplama makinesine dönüşebilmesidir.
Kaplama Makinesi Tanımı
ASTRA-S kaplama sistemi;
Bir yükleme masası,
Bir vakum yükleme-kilit odası ve
Bir veya daha fazla işlem odasından oluşur.
Tüm birimler temiz oda ortamına kurulur.
Temel ASTRA-S tasarımı tek uçludur, yani yükleme ve boşaltma işlemleri aynı taraftan yapılır. Bu yapı ile sistem batch modda çalışır; yeni yükleme, önceki taşıyıcı tamamen boşaltıldıktan sonra yapılır.
İsteğe bağlı olarak, çift uçlu tasarıma dönüştürülebilir; bu durumda yükleme ve boşaltma karşılıklı uçlardan yapılır ve sistem hat içi (inline) moda geçerek önceden tanımlı çevrim süresi ile çalışır.
Bu sayede ASTRA-S, küçük ölçekli bir üretim makinesine dönüştürülerek verimlilik önemli ölçüde artırılabilir.
Tabakalar taşıyıcılara yüklenir ve taşıyıcılar vakum yükleme-kilit odasından işlem odasına (sıçratma alanı) ilerler.
İşlem odasında taşıyıcı, magnetron sistemi önünde taramalı (scanning) hareketler yaparak istenilen kaplama kalınlığına ulaşır.
İşlem odaları, tabaka temizliği, ince film kaplama ve gerekiyorsa son işlem (post-treatment) için gerekli tüm teknolojik sistemlerle donatılabilir.
Makine kontrolü, tam otomatik modda HMI + PLC sistemi üzerinden sağlanır.
Mevcut Üretim Jenerasyonu
- Kaplama alanı büyüklüğüne göre ASTRA-S aşağıdaki versiyonda sunulmaktadır:
- GEN 2: 370 × 420 mm kaplama alanı
- Standart dışı diğer varyasyonlar da ayrıca değerlendirilebilir.
Üretkenlik
Bir laboratuvar kaplama makinesi olup küçük ölçekli üretime dönüşme potansiyeline sahip olan ASTRA-S, temel versiyonunda taramalı modda (scanning mode) çalışır.
Bu durumda üretkenlik, istenen katman kalınlığına (ve buna bağlı tarama sayısına) göre değişir.
Modüler yapısı sayesinde ASTRA-S, ek işlem odaları ve sonuna bir yükleme-kilit odası eklenerek genişletilebilir ve tam bir üretim makinesine dönüştürülebilir.
Mevcut Kaplama Süreçleri
Modüler yapısı sayesinde ASTRA-S kaplama makinesi farklı üretim görevlerine göre ölçeklendirilebilir ve optimize edilebilir.
Kullanılabilecek başlıca teknolojik cihazlar:
İyon Işını ile Temizleme Sistemi
RF Plazma Temizleme Sistemi
Planar Magnetron Sıçratma İstasyonu (DC veya AC)
Silindirik Döner Magnetron Sıçratma İstasyonu (DC veya AC)
RF Magnetronlar
Optik İzleme Sistemi
Tabaka Türleri
Cam
PET (veya diğer plastik filmler)
Talebe bağlı diğer malzemeler